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  気体試料導入装置(GPD/PED) タイトル
金属標準エアロゾル発生ユニット(MSAG)

MSAGは、ICP-MSを用いたガス試料中の金属不純物の定量分析に必須の試料導入装置です。レーザーアブレーションおよびGEDを用いた粒径分布測定に適用できます。
また、溶液中のナノパーティクル分析を行うときに、粒径既知の標準ナノパーティクルの代わりとして用いることが出来ます。

気体試料導入装置(GPD/GED)の特長
  • 高性能シリンジポンプで 1 μL/minの標準液をネブライザーに直接供給することで、標準液を100%プラズマに導入することができます。

  • 標準溶液を導入して得られた感度(counts/sec)からプラズマに導入される各金属元素の絶対量(ag/sec)、原子数(atoms/sec)および1カウント当たりの重量(ag/count) が計算で求められます。結果として、Au等の粒径既知の標準ナノパーティクルの代わりに用いることが出来ます。

  • 時間分析モードで測定されたパーティクル一個当たりのカウント数から重量が得られます。それから粒径を計算で求めることができます。

  • ガス中不純物の正確な定量分析や粒子状金属不純物の粒径分布結果を得ることができます。

  • 溶液中のナノパーティクル濃度を計算する際には、MSAG内蔵の流量計測センサーにより、スプレーチャンバーの透過効率を自動的に計測することが出来ます。

金属標準エアロゾル発生ユニット MSAG 接続例
MSAG Connection1

気体サンプル中のナノパーティクル分析時の接続例

MSAG Connection1

溶液サンプル中のナノパーティクル分析時の接続例

金属標準エアロゾル発生ユニット MSAG 接続例
  • MSAGを用いて10 ng/mLの金属混合標準溶液を 0 ~ 3 μL/min 添加した時の検量線を以下に示します。ICP-MSの感度変化を見るためにMSGG(金属元素標準ガス発生ユニット)を用いてガス状のMo標準も同時に測定し、感度補正したところ、0 ~ 3 μL/min で添加量と信号との間で良好な直線性が得られました。

  • また、異なるネブライザーで感度を見たところ、1 μL/minの添加量ではほぼ同じ感度が得られました。これらの結果は、極微少量の溶液をネブライザーで霧化すると、100%の溶液がプラズマに導入されていることと証明しています。

  • 溶液の導入量が 3 μL/min を超えると、徐々に吐出量に対して感度が低下し始めました。これは、ネブライザーに導入した標準溶液がスプレーチャンバーでトラップされ、プラズマ中に100%導入されないことを示しています。

MSAG DATA1

MSAG DATA2

MSAG DATA3

  気体試料導入装置 GPD/GED 原理 イメージ
 
  • 高純度のNH3ガスをGED-ICP-MSで分析した結果、Cu とZn の微粒子が検出されました。
  • MSAGを用いて得られた検量線で得られたCuおよびZnのガス中の濃度は、それぞれ 0.48 と 0.07 ng/kg でした。
  • Cu とZn の5 カウントの信号は、粒径にしてそれぞれ30 と 36 nm に相当しました。

Ar ガスブランク

Ar ガスブランク

NH3 ガス

NH3 ガス

気体試料導入装置 GED スペック
 
  • 型式: MSAG
    設定流量範囲: 0.10〜99.99 μL/min
    シリンジ容量: ガラス製 500 μL
    ネブライザー: 高効率型同軸
    スプレーチャンバー: 硬質ガラス製
  • 設置環境
    室温: 15〜30℃
    湿度: 35〜85%RH 結露のないこと
    電源: 100〜240 VAC ±10% 2 A 単相 50/60 Hz
    寸法: 166(W) x 295(D) x 630(H) mm
    重量: 7 kg
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