PRODUCT01 Expert™ :
全自動気相分解(VPD)装置

前処理濃縮法として、
気相分解法(Vaper Phase Decomposition: VPD)を採用し、
得られた回収溶液をICP-MS(誘導結合プラズマ質量分析装置)で
自動的に分析することで、Siウェーハ中微量金属不純物の
オンライン分析を可能にした装置です。

  3つのモデル

Expert™_PSは、
様々なオプションを組み合わせることで、
半導体工場における全自動分析からラボにおける前処理まで、
最も多くのお客様の現場で活躍しています。
深さ1 µm以上でも均一なバルクエッチングを実現できる唯一のモデルです。

Expert™_FABは、
半導体製造工場における自動搬送装置 (OHT)と組み合わせた
全自動分析用のモデルです。
ICP-MSが装置内に組み込まれた特殊な仕様で、
24時間365日の全自動分析の実現に最適です。

Expert™_LABは、
省スペースで少量のウェーハを処理したいご要望に応えたモデルで、
他モデルに比べてリーズナブルな価格帯で提供致します。
ロードポートは1基のみ搭載可能です。

  豊富なオプション

全自動分析のためのICP-MS結合モジュール、スキャン溶液自動調製供給システム、CIM HOSTとのSECS通信から、貴金属不純物回収用の王水溶液自動調製システムなど、お客様のご要望に合わせて様々にカスタマイズが可能です。詳細は下記資料を参照もしくはお問い合わせください。

各社ICP-MSと結合させた
Expert™_PS

Agilent 8800

Agilent 8800

NexION 2000

NexION 2000

iQAP TQ

iQAP TQ

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