PRODUCT02
LAGM :
レーザーアブレーション-GED- MSAGシステム
従来からあったレーザーアブレーションICP-MS法で問題であった
定量性と小型密閉系セルを解決した画期的なLA-ICP-MS装置です。
■ウェーハ直接分析可能
従来のLA-ICP-MS法では、固体試料を小型密閉系セル内に設置し、レーザー照射により放出された微粒子をArあるいはHeガスでセルから押し出してプラズマに導入していました。これは、空気がプラズマに入らないようにするとともに微粒子の拡散を防ぐために必要な導入方法でしたが、ウェーハのような大きな固体試料を直接分析することができませんでした。
LAGMは、小型密閉系セルを用いずにパーティクルフリー環境下でレーザーを照射し、エジェクターを用いて空気と一緒に微粒子を吸引し、GED（ガス交換器）を通してからプラズマに導入して分析することができるシステムです。
■優れた定量性
従来のLA-ICP-MS法では、一般的に固体標準試料を用いて定量しますが、レーザーを照射したときに放出される微粒子量が固体試料と標準試料で全く同じでないと、正確な定量結果が得られませんでした。
LAGMは、MSAG_DSから極微量の混合標準溶液を気化して導入することができる装置であり、ほぼ100%の溶液をICP-MSに導入することができます。結果として、固体試料にレーザーアブレーションをしながら標準添加法および内部標準法で定量分析ができるため、非常に正確な定量分析が可能です。
LAGMには、2つのモデルがあります。
■ 2つのモデル
LAGMは、
スタンドアローンのレーザーアブレーション装置に、GEDおよびMSAGを外置きで設置するモデルです。試料設置用のX-Y-Z-θステージは、大きな固体試料を手動で設置できるようにカスタマイズが可能です。
Expert_LA は、
300 mm用のFOUPを2台セットできるロードポート、ウェーハ搬送ロボット、アライナー、GED、およびMSAGが標準として組み込まれたウェーハ全自動分析用のシステムです。また、ウェーハベベルのフロント、バック、アペックスの分析が可能なオプションもあります。