PRODUCT01
Expert™ :
全自動気相分解（VPD）装置
前処理濃縮法として、
気相分解法（Vaper Phase Decomposition: VPD）を採用し、
得られた回収溶液をICP-MS（誘導結合プラズマ質量分析装置）で
自動的に分析することで、Siウェーハ中微量金属不純物の
オンライン分析を可能にした装置です。
■ ３つのモデル
Expert™_PSは、
様々なオプションを組み合わせることで、
半導体工場における全自動分析からラボにおける前処理まで、
最も多くのお客様の現場で活躍しています。
深さ1 µm以上でも均一なバルクエッチングを実現できる唯一のモデルです。
Expert™_FABは、
半導体製造工場における自動搬送装置 （OHT）と組み合わせた
全自動分析用のモデルです。
ICP-MSが装置内に組み込まれた特殊な仕様で、
24時間365日の全自動分析の実現に最適です。
Expert™_LABは、
省スペースで少量のウェーハを処理したいご要望に応えたモデルで、
他モデルに比べてリーズナブルな価格帯で提供致します。
ロードポートは１基のみ搭載可能です。
■ 豊富なオプション
全自動分析のためのICP-MS結合モジュール、スキャン溶液自動調製供給システム、CIM HOSTとのSECS通信から、貴金属不純物回収用の王水溶液自動調製システムなど、お客様のご要望に合わせて様々にカスタマイズが可能です。詳細は下記資料を参照もしくはお問い合わせください。
各社ICP-MSと結合させた
Expert™_PS
Agilent 8800
NexION 2000
iCAP TQ