PRODUCT03
CSI :
オンラインモニタリングシステム
Continuous Chemical Sampling Inspection（CSI ）は、
半導体製造ラインで求められる薬液中の金属不純物分析を
サブpptレベルで24時間連続的にモニタリングすることを
可能にしたシステムです。
■ CSIシリーズ
CSI は、
酸、アルカリ、有機溶媒等中の金属不純物をサブpptレベルでモニターします。
数百m離れたサンプリングポイントから最大20ラインまで接続が可能で、
ローリーやキャニスターの受入検査を含めた半導体製造工場の品質管理ツール
として活躍しています。また弊社のMSAG（金属標準エアロゾル発生ユニット）と
組み合わせることで、薬液中のナノ粒子モニタリングも併せて行うことが可能です。
CSI_Lab は、
オートサンプラーと複数のオーバーフロー容器を備え付けた装置であり、
１種類の薬液を複数のサンプリングポイントから採取し、
連続的にモニタリングするために最適です。
特に化学薬品メーカーにおける品質管理や、ラボ用途として活躍しています。
DSU（Discrete Sampling Unit）は、
CSI において薬液使用量を削減するためのサブユニットです。
サンプリングポイントの近傍に設置し、
数十mLの薬液を非連続的にCSI に送ることで、CSI 単独使用と比べて、
薬液使用量を100分の1以下に抑えることが可能です。
■ 全自動監視システム
CSI 専用ソフトウェアのOIS（Online Interface Software）は、CSI の全制御だけでなく、サンプリングポイント、ICP-MSソフトウェア、工場内CIM-HOSTとの通信を行い、薬液の受け入れから分析結果の報告までを全て自動で行います。弊社のASAS（オンライン自動標準添加装置）と共に検量線の自動作成、インテリジェント機能によるアクションの実行等も行います。
OIS メソッド作成画面
検量線自動作成
分析値の時系列グラフ化